光集積マテリアルズ研究室では、マイクロLEDデバイス開発と神経科学応用に必要な最先端の研究設備を整えています。
マスクを用いた高精度フォトリソグラフィ装置
マスク不要の直接描画システム
高純度金属薄膜の成膜装置
生体適合性に優れたパリレン膜の成膜装置
レジストやポリマー材料の均一塗布装置
誘導結合プラズマを用いた高アスペクト比エッチング装置
酸素プラズマによる有機物除去装置
金線による電気接続装置
チップの高精度位置決めと接合装置
マイクロLEDアレイを柔軟基板へ一括転写可能な独自開発装置
ウエハーの精密切断装置
試料表面の平坦化・鏡面加工装置
高温熱処理装置
高倍率観察システム
立体視可能な低倍率観察システム