実験装置

成膜装置

• スパッタリング装置　4台
• スパッタリング用電源（RF電源、DC電源、HiPIMS用パルサー3台)
• ミストCVD装置　２台
• 材料（IGZO、ITO、酸化インジウム、酸化スズ、酸化チタン、酸化タングステン、酸化テルル、酸化ガリウム、硬質アモルファス炭素、窒化アルミ、窒化ホウ素、窒化クロムアルミ、銅など）

大気圧プラズマ発生装置

• 各種高電圧電源
• パルスパワー電源（100ns前後）

使用可能なプラズマ解析装置

• ナノ秒時間分解発光分光装置
• 質量分析装置（正負イオン及び中性粒子検出可能、イオンエネルギー測定可能、時間分解測定可能、大気圧測定可能）
• 真空紫外・紫外吸収分光測定システム
• 近赤外光干渉型基板温度測定システム
• 液体クロマトグラフィ

使用可能な薄膜解析装置

• SEM-EDX
• ラマン分光装置
• XPS
• XRD
• NMR
• FTIR(ATR測定可能)
• 紫外可視近赤外分光光度計
• ホール測定
• 交流インピーダンス測定装置
• 電気化学測定装置（サイクリックボルタンメトリ、リニアスイープブルタンメトリ等）
• 走査型電気化学測定システム
• 充放電測定装置
• PEFC用燃料電池評価システム