M学生が電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会で研究発表してきました

電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会

岩手大学 工学部 復興祈念銀河ホール

2016年5月26-28日

  1. ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングプラズマにおける基板加熱機構

 

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