電気電子工学科卒論中間発表会で優秀発表賞(2名)を受賞しました。
電気電子工学科卒論中間発表会
2022年9月2日(金)および3日(土)
原田誠也:周波数領域型低コヒーレンス光干渉計を用いた大電力パルススパッタリング中のシリコン基板温度の計測
齋藤祐太:大電力パルススパッタリングを用いた窒化アルミニウムの成膜
電気電子工学科卒論中間発表会
2022年9月2日(金)および3日(土)
原田誠也:周波数領域型低コヒーレンス光干渉計を用いた大電力パルススパッタリング中のシリコン基板温度の計測
齋藤祐太:大電力パルススパッタリングを用いた窒化アルミニウムの成膜