大電力パルススパッタ（HiPIMS）を用いたIGZOの低温結晶化とこれをチャネル層に用いた薄膜トランジスタに関する論文が掲載されました。

2025年8月26日

Kosuke Takenaka, Taketo Nagata, Kazuya Ota, Yuichi Setsuhara, Takayuki Ohta
Low-temperature deposition of crystalline IGZO films using high-power pulsed magnetron sputtering
Journal of Applied Physics, Vol. 138, 085302 (2025).

https://doi.org/10.1063/5.0279377