大電力パルススパッタ（HiPIMS）を用いたIGZOの低温結晶化とこれをチャネル層に用いた薄膜トランジスタに関する論文が採択されました。

2026年9月1日

Kosuke Takenaka, Taketo Nagata, Haruya Naganawa, Daiki Nitta, Kazuya Ota, Yuichi Setsuhara, Takayuki Ohta
Pressure-Dependent Structural Ordering of IGZO Thin Films by High-Power Pulsed Magnetron Sputtering
Materials Science in Semiconductor Processing (Q1, IF:5.2), 217, 111120 (2027). https://doi.org/10.1016/j.mssp.2026.111120