透明薄膜トランジスタ

薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor, TFT)は、薄膜状の半導体材料を 基板上に積層して形成した電界効果トランジスタです。人間の目で見ると透明なものを透明薄膜トランジスタと言い、有機ELディスプレイや液晶ディスプレイの駆動に用いられています。

現在は、HiPIMSを用いてZnO、SnOx、IGZOなどの酸化物半導体の成膜を行っています。

HPPMSを用いて結晶性ZnOの成膜を行っています。c軸を示す(002)配向がえられています。フレキシブルデバイス（ディスプレイ、タッチパネル、スマートホン等）応用に向けて、高電子移動度をもつ透明薄膜トランジスタ用材料の開発を行っています。基板加熱冷却なしの成膜条件下において、基板温度１１０℃程度で（００２）配向のZnO膜がえられています。