学会発表

2024

  1. Shusuke Hattori and Takayuki Ohta
    Deposition of tungsten oxide by reactive sputtering for electrochromic device
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 12th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 12th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 14th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 2nd International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    A14
  2. Shiro Matsumoto, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
    Effect of pulse frequency on high-power pulsed magnetron sputtering for deposition of diamond-like carbon film
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 12th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 12th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 14th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 2nd International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    B2
  3. Yuta Saito and Takayuki Ohta
    Effect of peak power density on deposition of tin dioxide thin film using high-power pulsed magnetron sputtering
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 12th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 12th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 14th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 2nd International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    B3
  4. Shuta Ando and Takayuki Ohta
    Effect of nitrogen addition on properties of titanium oxide film for photocatalyst using reactive sputtering
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 12th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 12th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 14th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 2nd International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    B12
  5. Shusuke Hattori and Takayuki Ohta
    Deposition of Tungusten Oxide by Reactive Sputtering for Smart Glass
    ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13
    05P-P2-24
  6. Shiro Matsumoto, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
    Effect of pulse frequency on deposition of diamond-like carbon using high-power pulsed magnetron sputtering
    ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13
    05P-P2-23
  7. Yuta Saito and Takayuki Ohta
    Effect of peak power density on deposition of tin oxide thin film by high-power pulsed magnetron sputtering
    ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13
    05P-P2-29
  8. Shuta Ando and Takayuki Ohta
    Deposition of nitrogen-doped titanium oxide by reactivesputtering using oxygen and nitrogen mixture gas
    ISPlasma2024/IC-PLANTS2024/APSPT-13
    05P-P2-30
  9. 太田 貴之、國枝 滉、松本 詩郎、小田 昭紀、上坂 裕之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるパルス間隔の効果
    第71回応用物理学会春季学術講演会
    25p-12H-8
  10. 柿沼 慧多、阿部 元暉、太田 貴之、小田 昭紀
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングプラズマの空間0次元モデルの構築
    第71回応用物理学会春季学術講演会
    24p-P09-1
  11. Yuta Saito and Takayuki Ohta
    Low-temperature deposition of SnOX using high-power pulsed magnetron sputtering
    The 17th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2024)
    P4-08
  12. Shiro Matsumoto, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka,Takayuki Ohta
    Effect of pulse frequency on DLC deposition using high-power pulsed magnetron sputtering
    The 17th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2024)
    P5-02
  13. Takayuki Ohta, Shiro Matsumoto, Keita Takeda, Toru Harigai, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka
    Effect of xenon gas on deposition of diamond like carbon film using HiPIMS
    The 17th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2024)
    P5-06
  14. 服部柊介
    反応性スパッタリングを用いた酸化タングステンの成膜
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  15. 齋藤祐太
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化スズの成膜
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  16. 安藤秀太
    反応性スパッタリングを用いた窒素添加酸化チタンの成膜
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  17. 岩田智暉
    ホットウォール型ミストCVDによる酸化ガリウムの薄膜形成
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  18. 永田健人
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた結晶性 IGZO の成膜
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  19. 岡本奏大
    鉄フタロシアニン/酸化グラフェンに対する大気圧プラズマ照射効果
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  20. 堀川大貴
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化インジウムの成膜
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  21. 入江司
    固体高分子形燃料電池用の新規非白金触媒の開発
    第4回 革新的プラズマ材料加工研究会
  22. 松本 詩郎、小田 昭紀、針谷 達、上坂 裕之、太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたDLC 成膜における希ガスの効果
    応用物理学会第85回秋季講演会
    19p-B3-3
  23. 安藤 秀太、太田 貴之
    反応性スパッタリングを用いた酸化チタン成膜における窒素添加効果
    応用物理学会第85回秋季講演会
    18p-P02-18
  24. 阿部 元暉、柿沼 慧多、太田 貴之、小田 昭紀
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングプラズマにおける放電特性のターゲット電圧依存性
    応用物理学会第85回秋季講演会
    16p-P02-4
  25. 永田 健人、太田 和哉、竹中 弘祐、節原 裕一、太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた結晶性IGZOの成膜
    応用物理学会第85回秋季講演会
    19p-P05-31
  26. 齋藤 祐太、太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた酸化スズの成膜
    応用物理学会第85回秋季講演会
    18a-A22-3
  27. Takayuki Ohta, Miyuki Nishimura
    Low temperature synthesis of rutile titanium dioxide using high power impulse magnetron sputtering
    International Vacuum and Surface Science Conference(VASSCAA-12)
    #1051
  28. Yuta Saito, Kazuya Ota, Kosuke Takenaka, Yuichi Setsuhara and Takayuki Ohta
    Deposition of tin monoxide film using high-power impulse magnetron sputtering　
    The 10th International Symposium on Surface Science (ISSS-10)
    5P103
  29. Tomoki Iwata, Takayuki Ohta
    Effect of carrier gas on deposition of gallium oxide films using hot-wall type mist CVD
    The 10th International Symposium on Surface Science (ISSS-10)
    5P105
  30. Shiro Matsumoto, Toru Harigai, Hiroyuki Kousaka, Akinori Oda TAakayuki Ohta
    Effect of noble gas on DLC deposition using high-power impulse magnetron sputtering
    The 10th International Symposium on Surface Science (ISSS-10)
    5P21
  31. Shusuke Hattori, Takayuki Ohta
    Deposition of tungsten oxide using rf magnetron sputtering for smart window
    The 10th International Symposium on Surface Science (ISSS-10)
    5P20
  32. Shuta Ando and Takayuki Ohta
    Deposition of nitrogen-doped titanium oxide for photocatalysts by reactive rf magnetron sputtering
    The 10th International Symposium on Surface Science (ISSS-10)
    5P104
  33. 永田 健人, 太田 和哉, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタを用いたIGZO の成膜
    第11 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    P2
  34. 堀川 大貴, 太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化インジウム成膜における酸素ガス流量比依存性
    第11 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    P3
  35. 岡本 奏大, 太田 貴之
    大気圧プラズマ処理によるFePc/rGO の構造変化
    第11 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    P4
  36. Shiro Matsumoto, Toru Harigai, Hiroyuki Kousaka, Akinori Oda TAakayuki Ohta
    Behavior of ions on carbon-HiPIMS using various noble gases
    The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024)
    P-29
  37. Yuta Saito, Takayuki Ohta
    Low temperature deposition of tin dioxide on PEN substrate using high-power pulsed magnetron　sputtering
    The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024)
    P-57
  38. T. Nagata, K. Ota, K. Takenaka, Y. Setsuhara, T. Ohta
    Deposition of InGaZnO film using high power impulse magnetron sputtering
    The 45th International Symposium on Dry Process (DPS2024)
    P-62

2023

  1. 太田 貴之、國枝 滉、小田 昭紀、上坂 裕之
    ユニポーラダブルパルス印加大電力パルススパッタを用いたDLC成膜
    第70回応用物理学会春季学術講演会
    15p-PB03-6
  2. Miyuki Nishimura, Takayuki Ohta
    Deposition of TiO2 thin film using high power pulsed magnetron sputtering
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 11th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 11th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 13th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 1st International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    P01
  3. Fuka Hayakawa, Ikumi Ohsawa, Takahiro Saida, Takayuki Ohta
    Effect of reduction treatment on iron phthalocyanine / graphene oxide composites using atmospheric pressure plasma
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 11th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 11th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 13th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 1st International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    P02
  4. Katsunori Nagahashi, Takayuki Ohta
    Deposition of crystalline zinc oxide film using high-power pulsed magnetron sputtering
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 11th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 11th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 13th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 1st International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    P04
  5. Hiro Kunieda, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
    Deposition of diamond-like carbon using double-pulse target voltage on high power pulsed magnetron sputtering
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 11th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 11th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 13th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 1st International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    P05
  6. Keita Takeda, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
    Deposition of diamond-like carbon film using Ar/Xe mixture gas on high power pulsed magnetron sputtering
    Taiwan- Japan Joint Workshop on 11th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications(WEEEA), 11th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 13th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 1st International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology
    P07
  7. Katsunori Nagahashi and Takayuki Ohta
    Deposition of Crystalline Zinc Oxide Film Using High-Power Pulsed Magnetron Sputtering
    ISPlasma2023/IC-PLANTS2023
    08aB11O
  8. Fuka Hayakawa, Ikumi Ohsawa, Takahiro Saida and Takayuki Ohta
    Effect of Reduction Treatment on Iron Phthalocyanine / Graphene Oxide Composites Using Atmospheric Pressure Plasma
    ISPlasma2023/IC-PLANTS2023
    07P-P1-20
  9. Hiro Kunieda, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    Deposition of Diamond Like Carbon Using Double-Pulse Target Voltage on High-Power Pulsed Magnetron Sputtering
    ISPlasma2023/IC-PLANTS2023
    08P-P3-33
  10. Keita Takeda, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    Deposition of Diamond-Like Carbon Film Using Ar/Xe Mixture Gas on High Power Pulsed Magnetron Sputtering
    ISPlasma2023/IC-PLANTS2023
    08P-P3-34
  11. Miyuki Nishimura and Takayuki Ohta
    Deposition of TiO2 Thin Film Using High Power Pulsed Magnetron Sputtering
    ISPlasma2023/IC-PLANTS2023
    08P-P3-40
  12. 長橋克典
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた結晶酸化亜鉛の低温成膜
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  13. 西村美優紀
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化チタンの成膜
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  14. 國枝　滉
    ユニポーラダブルパルス大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボンの成膜
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  15. 武田恵太
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜における希ガスの効果
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  16. 早川風花
    鉄フタロシアニン 酸化グラフェン複合材料の大気圧プラズマ還元
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  17. 松本詩郎
    炭素ターゲットを用いた大電力パルスマグネトロンスパッタリングプラズマ中のイオンの挙動
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  18. 安藤秀太
    反応性スパッタリングを用いた光触媒用酸化チタンの成膜
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  19. 服部柊介
    反応性スパッタリング法を用いたスマートガラス用酸化タングステンの成膜
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  20. 斎藤祐太
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化錫の成膜
    第３回 革新的プラズマ材料加工研究会
  21. 安藤秀太、太田貴之
    反応性スパッタリングを用いた可視光応答型光触媒用酸化チタンの成膜
    第17回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  22. 服部柊介、太田貴之
    反応性スパッタリング法を用いたスマートガラス用酸化タングステンの成膜
    第17回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  23. 松本詩郎，針谷達, 小田昭紀, 上坂裕之, 太田貴之
    炭素ターゲットを用いた大電力パルススパッタリングプラズマ中のイオンの挙動
    第17回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  24. 齋藤祐太, 太田貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化錫の成膜
    第17回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  25. 早川 風花、才田 隆広、太田 貴之
    鉄フタロシアニン/酸化グラフェン複合材料の大気圧プラズマ還元
    応用物理学会第84回秋季講演会
    19p-P01-38
  26. 西村 美優紀、太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化チタンの成膜
    応用物理学会第84回秋季講演会
    20a-P02-9
  27. 武田 恵太、針谷 達、小田 昭紀、上坂 裕之、太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜における希ガスの効果
    応用物理学会第84回秋季講演会
    21a-A302-10
  28. 國枝 滉、針谷 達、小田 昭紀、上坂 裕之、太田 貴之
    ユニポーラダブルパルス大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜
    応用物理学会第84回秋季講演会
    21a-A302-11
  29. 長橋 克典、太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた結晶酸化亜鉛の低温成膜
    応用物理学会第84回秋季講演会
    21p-P09-3
  30. Fuka Hayakawa, Takahiro Saida, Takayuki Ohta
    Reduction of iron phthalocyanine/graphene oxide composites using atmospheric pressure plasma
    Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science 2023
    2P40
  31. 服部 柊介, 太田 貴之
    反応性スパッタリングを用いた酸化タングステンの成膜
    第10 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    P17
  32. 安藤 秀太, 太田 貴之
    反応性スパッタリングを用いた窒素添加酸化チタンの成膜
    第10 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    P39
  33. 齋藤 祐太, 太田 貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化錫の成膜
    第10 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    B7
  34. 松本 詩郎, 太田 貴之, 小田 昭紀, 上坂 裕之
    カーボンターゲットを用いた大電力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるパルス幅の影響
    第10 回 応用物理学会 名古屋大学スチューデントチャプター 東海地区学術講演会
    B15
  35. Miyuki Nishimura, Takayuki Ohta
    Deposition of rutile titanium dioxide using high-power pulsed magnetron sputtering
    TACT2023 International Thin Films Conference
    C-P-159
  36. Hiro Kunieda, Shiro Matsumoto, Keita Takeda, Toru Harigai, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Takayuki　Ohta
    Deposition of diamond-like carbon using high-power pulsed magnetron sputtering
    TACT2023 International Thin Films Conference
    D-O-157
  37. Katsunori Nagahashi and Takayuki Ohta
    Low-temperature deposition of crystalline zinc oxide film using high-power pulsed magnetron sputtering
    The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    P-44
  38. Hiro Kunieda, Toru Harigai, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
    Deposition of diamond-like carbon using unipolar-double-pulse high-power pulsed magnetron sputtering
    The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    P-40
  39. Keita Takeda, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
    Effect of rare gas on deposition of diamond-like carbon film using high-power pulsed magnetron sputtering
    The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    P-45
  40. Yuta Saito, Takayuki Ohta
    Deposition of tin oxide film using high-power pulsed magnetron sputtering
    The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    P-43
  41. Shiro Matsumoto, Toru Harigai, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
    Effect of pulse length on high-power pulsed magnetron sputtering using carbon target
    The 44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)
    P-22
  42. Takayuki Ohta, Miyuki Nishimura
    Effect of peak power density on deposition of TiO2 film using high-power pulsed magnetron sputtering
    MRM2023/IUMRS-ICA2023
    D-L204-06
  43. Takayuki Ohta, Katsunori Nagahashi
    Deposition of zinc oxide film using high-power pulsed magnetron sputtering
    MRM2023/IUMRS-ICA2023
    D1-O402-03

2022

  1. 長橋克典，太田貴之
    大電力パルススパッタリングを用いた酸化亜鉛の成膜
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-06
  2. 西村美優紀，太田貴之
    大電力パルススパッタリングを用いたルチル型酸化チタンの成膜
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-07
  3. 國枝　滉，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
    大電力パルススパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるパルス制御の効果
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-08
  4. 武田恵太，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
    大電力パルススパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるキセノンガスの効果
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-09
  5. 奥村壮太，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
    大電力パルススパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるメタンガス導入効果
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-10
  6. 早川風花，大澤郁実，才田隆広，太田貴之
    大気圧プラズマを用いた鉄フタロシアニン担持酸化グラフェン触媒の還元
    表面技術協会 第146回講演大会
    06D-09
  7. 臼井　諒，太田貴之
    大電力パルススパッタリングを用いた窒素含有アモルファスカーボン膜の成膜
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-25
  8. 川原竜次，太田貴之
    スパッタリングを用いたアナターゼ型酸化チタンの成膜
    表面技術協会 第146回講演大会
    06B-26
  9. 西村美優紀，太田貴之
    ハイパワーパルスマグネトロンスパッタリングを用いたルチル型酸化チタンの成膜
    応用物理学会第83回秋季講演会
    22p-A406-13
  10. 早川風花，大澤郁実，才田隆広，太田貴之
    大気圧プラズマを用いた鉄フタロシアニン/酸化グラフェン複合材料の還元
    応用物理学会第83回秋季講演会
    22p-A404-3
  11. 太田 貴之、松島 丈、小田 昭紀、上坂 裕之
    大電力パルススパッタを用いたDLC成膜における投入電力密度の効果
    応用物理学会第83回秋季講演会
    22a-A202-9
  12. Ryo Usui, Takayuki Ohta
    Deposition of nitrogen doped amorphous carbon film using high power impulse magnetron sputtering
    GEC-2022 / ICRP-11
    HT4.00077
  13. Takayuki Ohta, Jo Matsushima, Sota Okumura, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka
    Effect of pulse width on deposition of diamond-like carbon on high power pulsed magnetron sputtering
    GEC-2022 / ICRP-11
    GR5.00001
  14. Hiro Kunieda, Akinori Oda, Kousaka Hiroyuki, Ohta Takayuki
    Gas phase diagnostics on high power pulsed magnetron sputtering using double-pulse target-voltage
    GEC-2022 / ICRP-11
    GR5.00002
  15. Keita Takeda, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Ohta Takayuki
    Effect of xenon gas on deposition of diamond-like carbon film using high power pulsed magnetron sputtering
    GEC-2022 / ICRP-11
    GR5.00003
  16. Sota Okumura, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
    Deposition of hydrogenated diamond-like carbon using high power impulse magnetron sputtering
    GEC-2022 / ICRP-11
    GR5.00004
  17. Fuka Hayakawa, Ikumi Ohsawa, Takahiro Saida, Takayuki Ohta
    Reduction of iron phthalocyanine/ graphene oxide composites using atmospheric pressure plasma
    GEC-2022 / ICRP-11
    GF2.00002
  18. Katsunori Nagahashi, Takayuki Ohta
    Deposition of zinc oxide film using high power impulse magnetron sputtering
    GEC-2022 / ICRP-11
    GF3.00003
  19. Miyuki Nishimura, Takayuki Ohta
    Deposition of Rutile TiO2 Thin Films Using high power pulsed magnetron sputtering
    GEC-2022 / ICRP-11
    GF3.00005
  20. Hiro Kunieda, Akinori Oda, Kousaka Hiroyuki, Ohta Takayuki
    Gas phase diagnostics on high power pulsed magnetron sputtering using double-pulse target voltage for deposition of diamond like carbon
    43rd INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DRY PROCESS
    P-28
  21. 西村 美優紀、太田 貴之
    Deposition of TiO2 thin film using high power pulsed magnetron sputtering
    日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第172回定例研究会および第19回技術交流会、日本－ベルギー 二国間研究交流ワークショップ～プラズマプロセスが切り拓く次世代表面処理技術の開発動向～
    pp.72
  22. Fuka Hayakawa, Takayuki Ohta, Ikumi Ohsawa, Takahiro Saida
    Reduction of iron phthalocyanine/graphene oxide composites using cold atmospheric- pressure plasma
    The 32nd Annual Meeting of MRS-J
    E-O5-006
  23. 長橋克典，太田貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化亜鉛の成膜
    令和４年度表面技術若手研究者・技術者研究交流発表会
  24. 西村美優紀，太田貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたルチル型酸化チタンの成膜
    令和４年度表面技術若手研究者・技術者研究交流発表会
  25. 國枝　滉，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
    ダブルパルスターゲット印加電圧を用いた大電力パルスマグネトロンカーボンスパッタリングにおけるイオンの解析
    令和４年度表面技術若手研究者・技術者研究交流発表会
  26. 武田恵太，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
    大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜におけるXe ガスの効果
    令和４年度表面技術若手研究者・技術者研究交流発表会
  27. 早川風花，大澤郁実，才田隆広，太田貴之
    大気圧プラズマを用いた鉄フタロシアニン担持酸化グラフェン触媒の還元
    令和４年度表面技術若手研究者・技術者研究交流発表会

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